奕帆电子制造无尘车间氩气检测仪厂家

深圳奕帆科技固定式无线氩气检测仪，专为半导体晶圆制造、芯片刻蚀、薄膜沉积、电子元件无尘加工车间研发，适配电子制造行业高纯氩气工艺环境监测、密闭洁净间氩气泄漏安全防护双重需求，采用无线物联网传输架构，解决无尘车间不能大面积布线、线缆易产生粉尘污染、洁净产线改造施工受限的行业难题，是半导体、精密电子制造企业洁净车间安全生产、高纯工艺管控专用监测设备。

在半导体芯片生产全流程中，高纯氩气是晶圆刻蚀、离子注入、薄膜沉积核心载气与保护气，洁净车间内部通风条件受限，氩气一旦从供气管道、晶圆设备腔体发生微量泄漏，会快速在洁净车间设备底部、密闭工艺隔间堆积，置换洁净空间内氧气，车间技术人员长期巡检作业易出现缺氧窒息风险；同时氩气纯度波动、微量泄漏会直接破坏晶圆加工高纯惰性工艺环境，造成芯片晶圆氧化、电路刻蚀缺陷，大幅降低芯片良品率，给电子制造企业带来高额生产成本损耗，本款无线氩气检测仪可 24 小时不间断实时监测无尘车间各工艺点位氩气浓度，提前预警微量泄漏，稳定高纯氩气工艺环境，兼顾人员安全与芯片生产品质管控。

设备传感单元选用进口超高精度热导式氩气专用传感器，针对半导体无尘车间低粉尘、高洁净、微量氩气检测需求专项优化传感算法，规避车间洁净气体、微量挥发性电子化学品带来的数据检测干扰，检测量程 0-100% VOL 全覆盖，同时支持微量泄漏低浓度监测与高纯氩气 99.999% 纯度精准检测，分辨率高达 0.001% VOL，T90 响应时间≤20 秒，可精准捕捉设备腔体、供气管道的微量氩气渗漏；传感器前端配备 PTFE 洁净级防尘滤膜，无粉尘脱落、无杂质挥发，符合无尘车间洁净标准，不会对晶圆、电子元件造成粉尘污染，传感器稳定使用寿命长达 5 年，大幅减少无尘车间频繁更换传感器带来的产线停机、洁净环境二次污染问题。

整机外壳采用洁净级无挥发铸铝材质，表面哑光防静电涂层，通过 CT6 防爆安全认证，适配半导体车间易燃易爆特种工艺工况，防护等级 IP67，防水防尘防静电，可适应洁净车间恒温恒湿标准工况，工作温度稳定区间 20℃~26℃，可长期持续不间断 7×24 小时运行，适配半导体工厂全年无休连续生产模式。

设备采用全无线物联网传输设计，内置工业级 LoRa 远距离无线传输模块，洁净车间无遮挡环境下传输距离可达 3000 米，同时兼容 NB-IoT、4G 全网通双模通讯，全程无需铺设信号线缆、通讯管线，从根源避免无尘车间布线施工产生粉尘、破坏洁净等级；设备搭载大容量低功耗工业锂电池，满电状态下可持续稳定运行 8 个月，无需频繁充电维护；配套洁净车间专用磁吸式壁挂安装底座，安装过程无粉尘、无工具打磨，单人 5 分钟即可完成洁净设备墙面、晶圆加工设备旁固定安装，后期产线设备移位、洁净车间改造时，检测仪可直接拆卸更换点位，无需二次施工，不影响车间洁净等级与正常芯片生产。

设备正面搭载 2.4 寸高清无尘专用液晶显示屏，低反光、防静电，实时直观展示现场氩气浓度、车间温湿度、无线信号强度、电池剩余电量，界面简洁，支持中英文切换；配套红外无线遥控器，无需开启洁净设备外壳，隔着防爆壳体即可远程完成高低两级报警阈值设置、零点校准、高纯量程标定、数据存储周期调整，调试全程不破坏洁净车间密闭环境，无需停机，不中断芯片加工生产，洁净车间运维人员简单培训即可独立完成设备调试与日常校准维护。

设备搭载多级安全预警系统，机身集成低噪音高分贝声光报警器，适配无尘车间低噪音管控标准，氩气浓度触发低预警、高危险两级阈值时，同步发出柔和高频警报与红色低亮度爆闪灯光，既可以及时提醒车间运维人员处置泄漏，又不会产生高分贝噪音干扰芯片精密加工；无线传输模块同步将实时浓度数据、报警信息实时上传奕帆专属洁净车间云监控平台，企业生产管理人员、EHS 安全工程师可通过电脑 PC 端后台、手机 APP、企业微信小程序，随时随地远程查看全厂所有洁净车间、晶圆设备监测点位实时氩气浓度、30 天历史浓度变化曲线、全部泄漏报警记录；云平台支持监测数据自动云端存储，一键导出标准化 Excel 安全生产台账报表，满足半导体工厂 EHS 安全管理、环保安监、洁净车间体系审核的数据追溯要求。

设备内置智能故障自诊断程序，24 小时不间断巡检传感器失效、电池亏电、无线信号中断、探头滤膜堵塞等异常故障，屏幕自动弹窗显示故障代码与简易洁净环境专用检修方案，大幅降低无尘车间设备故障排查、维修难度；设备预留无源继电器联动输出接口，可直接对接洁净车间通风净化系统、氩气供气管道电磁阀、车间分区报警指示灯，氩气浓度超标时自动联动开启洁净通风设备、切断高纯氩气供气阀门，实现洁净车间氩气泄漏全自动应急处置，避免泄漏扩散污染整套晶圆产线。

奕帆电子制造无尘车间氩气检测仪厂家，免费提供远程洁净车间设备技术指导、上门无尘校准、故障维修服务，支持根据大型半导体产业园、多条晶圆自动化产线定制多设备集中无线组网管控方案，支持定制超高纯氩气检测量程、工业 Modbus-RTU 标准通讯协议，无缝对接半导体工厂 DCS、PLC 自动化中控系统，以洁净化、无线化、智能化监测方案，保障半导体无尘车间作业人员安全与高纯晶圆生产良品率。

奕帆电子制造无尘车间氩气检测仪厂家