咨询热线
18124181812
18124181812
详细介绍
深圳奕帆科技固定式法兰款氩气在线检测仪，深度适配半导体晶圆真空镀膜生产线工艺管道法兰监测点位，一体化标准法兰安装结构可直接对接真空镀膜机氩气进气管道，法兰密封结构适配真空微负压工况，有效解决半导体车间镀膜工艺氩气供给浓度实时管控难题，保障芯片镀膜生产稳定性。
设备核心采用进口高精度热导氩气专用传感器，针对半导体行业高纯度氩气检测需求优化，量程支持 90%-99.999% VOL 高纯氩气检测，分辨率低至 0.001% VOL，可精准捕捉镀膜管道内氩气微小浓度变化，避免氩气纯度不达标造成晶圆镀膜瑕疵、芯片报废，大幅降低半导体企业原材料损耗。整机电路采用 32 位超低功耗工业级处理器，搭载全量程温湿度智能补偿算法，即使半导体车间恒温恒湿环境出现微小波动，依旧保持测量数值长期稳定，零点自动跟踪功能减少月度校准工作量，适配半导体车间 24 小时不间断连续生产需求。
设备外壳采用耐腐蚀铸铝防爆壳体，防爆等级 Ex d IIC T6，IP67 防尘防潮防护，耐受半导体车间洁净车间轻微水汽、洁净试剂微量蒸汽腐蚀，无粉尘堆积死角，符合半导体洁净车间设备使用规范。2.5 英寸高清工业彩屏，支持中英文双语切换，就地直观显示氩气纯度、管道环境温湿度、设备运行状态、故障代码，配套红外遥控操作，洁净车间内无需接触设备即可完成报警值设定、传感器标定，避免人为接触造成车间洁净度污染。
信号传输方面，设备标配 4-20mA 模拟量与 RS485 Modbus-RTU 数字信号双输出，适配半导体厂房中控 PLC、DCS 自动化控制系统，两组无源继电器可联动氩气供气调节阀、洁净区通风系统、声光报警装置，一旦管道氩气纯度低于工艺标准或出现气体泄漏，设备立即声光报警并自动联动执行机构，快速处置异常工况，保障芯片生产线安全稳定运行。
设备内置大容量数据存储模块，自动留存浓度、报警、设备运维记录，支持数据导出归档，满足半导体企业安全生产、洁净车间环保合规审核要求。模块化传感器设计，5 年超长使用寿命，后期维护仅需单独更换传感模组，无需整机返厂，降低半导体企业运维成本。
奕帆半导体真空镀膜专用氩气检测仪厂家可定制法兰规格、高纯氩气专用量程、洁净车间专用无油过滤配件，全套设备提供防爆合格证、CPA 计量认证，全国提供洁净车间上门安装调试、年度校准、终身技术支持服务，是半导体真空镀膜高纯氩气管道法兰监测专用仪器。
奕帆半导体真空镀膜专用氩气检测仪厂家
产品咨询
微信公众号
移动端浏览
