




详细介绍














深圳奕帆科技手提泵吸式氩气检测仪,面向半导体晶圆制造、芯片封装、微电子实验室、光学镀膜行业研发,针对芯片制程保护高纯氩气管道泄漏、反应腔体氩气浓度监测、气瓶储存间氩气积聚安全检测,兼顾高精度纯度检测与现场便携巡检双重需求,适配电子制造行业高标准洁净车间使用场景。
设备整机轻量化手提设计,整机重量仅 300g,搭配柔软防滑手提绑带,洁净车间无尘服佩戴操作无束缚;机身采用无静电防静电材质外壳,杜绝静电产生损伤芯片、电子元器件,适配千级、万级无尘洁净车间;整机防护等级 IP65,表面光滑,可使用无尘酒精布直接擦拭清洁,不残留粉尘杂质,符合半导体车间洁净管控规范。
核心检测模块搭载进口超高精度热导氩气专用传感器,经过恒温补偿算法优化,量程 0-100% VOL,分辨率高达 0.0001% VOL,检测精度≤±1% FS,能够精准捕捉半导体工艺腔体微量氩气泄漏,区分氩气与氮气、氧气等混合气体,抗气体交叉干扰能力强;设备内置低噪防腐气泵,气路内部搭载多层 PTFE 防水防尘过滤芯,可过滤管道内水汽、细微粉尘,避免杂质污染传感器,延长核心传感元件使用寿命,降低企业更换配件成本;标配 3 米特氟龙采样软管,耐腐蚀、无杂质析出,不会污染无尘车间环境。
屏幕搭载 2.0 寸高清触控彩屏,全中文可视化菜单,操作逻辑极简,无需专业技术人员培训即可快速上手;屏幕实时展示氩气浓度、环境温湿度、传感器工作状态、剩余电量,支持实时浓度曲线动态显示,便于技术人员观察腔体氩气浓度波动变化;设备支持分级报警设置,分为预警、高危两级浓度阈值,低浓度微量泄漏触发低频声光预警,高浓度氩气积聚触发高分贝声光 + 震动双重报警,无尘车间静音环境下可第一时间提醒工作人员处置泄漏隐患。
供电采用防爆低功耗锂电池,满电连续检测时长可达 12 小时,满足半导体车间全天多轮次腔体巡检;Type-C 快充接口,无尘车间专用防爆充电宝、车间防爆插座均可安全充电;设备自带本地数据存储,单台设备可存储 10000 组检测数据,自动记录检测时间、点位、氩气浓度、报警记录,通过 USB 数据线导出 Excel 格式数据报表,满足半导体工厂 EHS 安全台账、环保、安监定期核查存档需求;可选配蓝牙无线传输模块,检测数据实时同步至车间 EHS 监控平台,实现远程数据查看。
奕帆芯片制造高纯氩气监测仪厂家,专注工业气体检测设备研发生产十余年,半导体行业专用氩气检测仪可按需定制超高纯量程、加长特氟龙采样管、防爆机型;整机附带 CMA 计量检测证书,符合半导体行业气体安全检测标准,整机质保 12 个月,免费提供传感器校准、设备维护技术支持,免费上门提供无尘车间巡检方案定制,全国顺丰极速发货。
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