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详细介绍
深圳奕帆科技固定式红色款氩气检测仪，是半导体晶圆洁净车间高纯氩气输送管道、气体柜、工艺腔体专用在线监测设备，整机一体化集成高亮红色声光报警装置，洁净室柔和灯光环境下红色警示灯辨识度，一旦氩气微量泄漏即刻高分贝蜂鸣 + 红光闪烁双重预警，保障微电子无尘车间人员与精密设备安全。
设备整机采用轻量化防爆铝合金机身，外层哑光红色防腐涂层，无掉漆、无粉尘脱落，不会污染洁净车间无尘环境，整机通过 Ex d ⅡCT6 防爆认证、CPA 计量器具认证、CE 欧盟出口认证，满足半导体工厂严苛安规与环保检测验收标准，可长期在 Class1000 无尘洁净区稳定运行。
核心传感单元选用进口高纯度热导传感器，针对 99.999% 高纯氩气纯度检测优化调校，检测量程支持 0-100% Vol 全量程定制，检测误差控制在 ±1.5% F.S 以内，分辨率高达 0.001% Vol，可精准识别管道内氩气纯度波动与微小泄漏，避免高纯工艺气体泄漏造成晶圆加工报废、车间缺氧安全隐患。
机身配置 2.8 寸工业高清触控彩屏，洁净室人员可直观查看实时氩气浓度、气体纯度、设备自检状态、高低两级报警记录，配套红外无线遥控器，全程免开盖操作，无尘车间无需打开设备外壳即可完成校准、参数设置，杜绝粉尘进入设备内部影响检测精度。
通讯输出兼容 RS485 数字总线与 4-20mA 模拟信号，可接入半导体工厂 DCS 中控系统、洁净室环境监控平台，实时上传 24 小时连续监测数据，设备自带数据存储功能，可自动留存 30 天浓度曲线与报警记录，便于环保、安监日常数据溯源核查。
设备标配流通式管道气室，适配 1/4、3/8 工业高纯气管路对接，同时支持壁挂扩散式安装，可灵活布置在氩气供气柜、刻蚀机、沉积设备周边，IP66 高防护等级，防潮、防尘、抗洁净室循环气流干扰，内置多级滤波算法，消除洁净室气流、温湿度波动带来的数据漂移，全天候稳定输出精准检测数值。
奕帆半导体洁净室高纯氩气检测仪厂家可根据半导体行业需求定制专属量程、洁净室专用无扬尘外壳、无线 LORA 远程传输模块，整机出厂完成 72 小时高低温老化测试，24 个月整机质保，配备专业微电子行业技术工程师上门安装调试，适配芯片制造、光伏硅片、电子元器件封装等全产业链洁净车间氩气监测场景。
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