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深圳奕帆科技手提式氦气检测仪半导体专用版,面向半导体晶圆车间、芯片封装厂、真空镀膜生产线、氦气回收系统气密性检测研发,适配无尘洁净车间严苛使用环境,精准检测真空腔体、管路接头、氦气回收设备微量氦气泄漏,同时检测高纯氦气供气纯度,保障半导体生产线稳定运行,避免氦气泄漏、纯度不达标造成芯片生产报废损失。设备搭载专用洁净型热传导传感器,经过无尘车间工况专项调试,无粉尘残留、无气体吸附残留,不会污染半导体洁净车间环境;检测量程 0-100% VOL 全覆盖,分辨率 0.01% VOL,响应速度快,真空腔体微小氦气泄漏可瞬间捕捉,数值重复性误差≤±1%,长期连续检测数值无漂移,适配半导体车间全天候巡检作业。
整机采用无尘防静电 ABS 外壳,表面防静电涂层处理,不会产生静电击穿精密芯片设备,机身无缝隙、易擦拭清洁,符合无尘车间洁净度使用标准;轻量化机身仅 430g,搭配可拆卸挂绳、工装夹扣,操作人员手持、胸前悬挂均可,长时间巡检无负重压力;简化式操作按键,一键开启采样泵、一键保存检测数据、一键切换纯度 / 检漏模式,无需专业技术人员即可快速完成检测工作。采样气路全部采用食品级、洁净级 PTFE 管路,无油污、无杂质析出,不会污染半导体真空设备;标配可伸缩洁净金属采样探杆,可伸入狭小真空腔体缝隙检测,探杆可拆卸酒精擦拭消毒,满足无尘车间清洁规范;气路集成微型干燥过滤芯,过滤空气中水汽,防止水汽进入真空管路造成设备故障。
数据管理与合规功能,内置 10 万组大容量数据存储,自动记录检测时间、氦气浓度、车间温湿度、检测点位,每条记录留存,支持 USB 导出检测报表,报表格式符合半导体工厂质检、设备运维台账标准;可选配蓝牙无线传输功能,检测数据实时同步至车间中控电脑,管理人员远程查看各产线氦气检测数据。安全防护方面,设备具备防静电、防尘 IP65 防护等级,可适应无尘车间恒温恒湿环境;大容量低噪锂电池,无静电放电隐患,单次满电持续工作 13 小时,满足全天多条半导体产线巡回检测;配套无尘专用无纺布收纳袋,存放仪器避免灰尘附着。
奕帆半导体电子行业高纯氦气报警器厂家支持半导体企业定制多气体复合检测、无线云端数据监控、现场拍照取证功能,提供无尘车间使用专项技术培训,整机质保一年,终身提供传感器校准、更换维护服务。
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