深圳奕帆科技银色固定式氦气检测仪，适配半导体芯片、晶圆刻蚀、封装制造车间氦气工艺环境监测，整机银色一体化防爆铝合金外壳，表面精密拉丝银色工艺，抗半导体车间洁净室化学腐蚀气体侵蚀，防静电涂层杜绝静电击穿车间精密芯片设备，防爆、防静电双重安全标准，可直接安装于晶圆工艺管道、氦气供气柜周边。
半导体制造工艺大量使用高纯氦气作为保护气、载气，管道接头、阀门微量泄漏不仅造成氦气原料损耗，高浓度氦气还会造成车间作业人员缺氧，本设备搭载进口热导氦气传感器，0-100% VOL 宽量程可选，0.01% VOL 超高分辨率，可精准检测管道微量氦气渗漏，实时监控工艺腔内氦气纯度，保障芯片生产工艺稳定，设备内置全量程温度自动补偿电路，车间洁净室恒温波动、洁净水雾环境下，长期测量数值稳定无漂移，重复性误差≤±1%，满足半导体行业高精度监测需求。
机身 2.5 英寸高清彩屏，支持实时数值、浓度曲线双模式显示，中英文操作界面，适配外资、国产半导体工厂运维人员使用，PPM、% VOL 单位自由切换，屏幕同步显示设备运行时长、传感器剩余使用寿命、下次校准时间。标配 4-20mA 模拟量、RS485 Modbus 数字信号双输出，监测数据直接对接半导体车间工控 PLC、MES 生产管理系统，实现工艺氦气浓度数据实时上传工厂中控大屏，管理人员远程实时查看各工位氦气监测数据。
奕帆半导体晶圆制造车间氦气检测仪厂家设备内置 2 路无源继电器输出，可联动车间工艺氦气输送电磁阀、洁净室新风系统，低浓度泄漏仅本地声光预警，高浓度氦气超标自动切断氦气供气管道、开启新风系统置换空气，双重安全防护避免生产安全事故与原材料浪费。整机 IP66 高防护等级，前置可拆卸粉尘、水汽过滤器，阻隔洁净室细微硅粉、水雾进入传感腔体，有效延长传感器使用寿命；插拔式智能传感模块，出厂预标定，现场直接更换无需二次校准，降低半导体工厂设备维护成本。设备自带故障自检、断线报警、数据恢复功能，内置黑匣子存储 10 万条监测日志，满足半导体工厂环保、安全生产台账记录要求。
奕帆半导体晶圆制造车间氦气检测仪厂家
