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详细介绍
深圳奕帆科技固定式法兰款双氧水在线检测仪，专为半导体、电子芯片制造晶圆清洗高纯双氧水工艺设计，采用洁净级镜面抛光 316L 不锈钢 DN25 法兰结构，法兰镜面处理，不会残留晶圆清洗高纯药液、无杂质析出污染晶圆，适配半导体超纯水系统、晶圆湿法蚀刻清洗管道、高纯双氧水调配罐体旁路安装，法兰密封采用高纯 PFA 防腐垫片，耐受电子级高纯双氧水氧化腐蚀，杜绝普通橡胶垫片析出杂质污染半导体生产线，满足半导体无尘车间高洁净、无二次污染严苛要求。
设备搭载低干扰微量级电化学传感器，针对半导体车间低浓度双氧水微量挥发优化，标准量程 0-100ppm，分辨率 0.01ppm，可精准捕捉清洗管道微量双氧水挥发泄漏，T90 响应时间≤5 秒，泄漏发生后快速预警，避免高纯双氧水腐蚀精密半导体设备、损伤操作人员皮肤呼吸道。
整机采用本安防爆 + 隔爆双重防护，防爆等级 Ex d ia IIC T6 Gb，适配半导体洁净防爆车间；机身 IP67 高防护，无尘车间循环风、高压纯水冲洗环境稳定运行；正面高清彩屏中文界面，可切换实时浓度数值、24 小时浓度曲线、设备温湿度、传感器剩余寿命提示，配套红外遥控无接触校准，无尘车间无需开门拆装仪表，避免外界粉尘进入洁净产线，大幅降低洁净区运维污染风险。
信号输出支持 4-20mA 模拟信号、RS485 Modbus、可选 4G 无线传输，可对接半导体产线 PLC、工厂智能中控平台、洁净区排风系统，两路继电器联动洁净区变频排风风机，管道双氧水微量泄漏浓度超标时，自动加大洁净车间换气风量，快速降低空气中双氧水残留浓度，保障无尘车间人员作业安全。设备 24VDC 低功耗稳定供电，7×24 小时不间断在线监测，内置存储模块自动存储浓度、报警、校准数据，支持数据导出用于半导体产线工艺优化、洁净区安全台账留存。
奕帆半导体晶圆清洗高纯双氧水监测仪厂家可根据半导体管道规格定制 DN15/DN20/DN40 洁净法兰，出厂附带洁净度检测报告、防爆证书、计量校准证书，提供半导体无尘车间上门安装、洁净区专属调试、季度上门标定、技术售后，专为半导体晶圆清洗高纯双氧水微量监测打造。
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