奕帆高纯氙气工艺配比监测氙气检测仪厂家

深圳奕帆科技固定式无线氙气在线监测仪，深度适配半导体晶圆、芯片蚀刻、薄膜沉积、光电元器件制造产线，针对高纯氙气工艺配比、管道微量泄漏、洁净车间稀有气体管控研发，是电子制造行业氙气浓度精准管控专用监测设备。

半导体制造工序大量使用高纯氙气作为工艺载气，管道微小泄漏不仅会造成高纯氙气原料大量损耗，泄漏积聚还会导致车间氧气含量下降，引发作业人员缺氧窒息风险，传统有线检测仪布线会破坏洁净车间无尘环境，增加洁净区改造成本。奕帆无线款氙气检测仪解决以上痛点，搭载 WiFi 无线传输模块，可接入车间洁净区内网，无需铺设信号电缆，不破坏无尘车间地面、吊顶洁净层，壁挂式轻薄机身设计，不占用产线操作空间，适配洁净厂房严苛安装要求。

设备核心搭载进口超高精度热导式氙气专用传感器，经过高纯惰性气体专项算法校准，可精准区分氙气、氩气、氪气、氦气等多种稀有气体，无交叉干扰，适配半导体车间多种混合稀有气体工艺环境；量程覆盖微量 0-1% VOL 高纯配比监测至 0-100% VOL 纯度检测，测量精度≤±0.3% FS，分辨率可达 0.001% VOL，精准把控晶圆工艺氙气配比精度，微量管道泄漏实时捕捉，避免因气体配比失衡造成晶圆批量报废，降低企业原材料损耗与生产损失。

整机外壳采用轻量化不锈钢洁净壳体，光滑表面，便于无尘车间酒精擦拭清洁，IP66 防尘防水防护等级，可抵御洁净车间循环水汽、轻微化学挥发物腐蚀；内部电路搭载多级滤波抗干扰模块，抵御半导体车间高频设备电磁干扰，保障长期监测数据稳定不漂移。

供电采用 24V 直流工业供电 + 内置备用锂电池双模式，断电后锂电池可持续监测 72 小时以上，保障产线不间断监测；超低功耗 WiFi 无线传输，数据实时同步上传至车间 MES 生产管理系统、奕帆云端监测平台，生产管理人员中控电脑、办公室手机可实时查看各晶圆机台氙气实时浓度、24 小时浓度变化曲线、历史报警记录，实现工艺气体数据可视化管控。

2.5 寸高清无尘专用显示屏，无反光防眩光屏幕，洁净车间强光照明下数值清晰可见，屏幕同步显示氙气浓度、车间温湿度、传感器工作状态、设备网络连接状态；设备支持多级报警阈值自定义设置，分为预警、二级报警、紧急泄漏三级提醒，超标后现场声光报警，同时无线推送报警信息至车间中控、管理人员手机，同步联动产线气体紧急切断阀、洁净区排风系统，自动启动应急通风、切断氙气气源，快速控制泄漏险情。

模块化可插拔传感模组，洁净车间维护无需整机拆卸，30 秒快速更换传感器，配套红外遥控器，无需开盖即可远程完成零点校准、报警参数调整，避免频繁拆机破坏无尘车间洁净度。设备内置本地数据存储，完整保存全年工艺监测数据，支持导出标准报表，用于半导体工厂工艺质控、环保安全台账归档。

适配半导体晶圆蚀刻车间、光电灯管制造、芯片实验室、高纯氙气配比车间，奕帆高纯氙气工艺配比监测氙气检测仪厂家，支持量程、通信模块、洁净外壳定制，可提供半导体行业配套技术方案年度计量校准一站式服务。

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