奕帆半导体晶圆制造管道氙气检测仪厂家

简要描述：奕帆法兰式固定式氙气在线检测仪，专为空分、半导体氙气管道监测打造，法兰一体式安装无需改造管路。选用长寿命热导传感模组，响应迅速、测量重复性强，可同时检测氙气微量泄漏与气体纯度。整机隔爆结构，防雷防静电，抵御工业电磁干扰；自带三级可调报警阈值，超标声光联动提醒。兼容有线、4G 无线远程传输，手机、中控平台实时查看数据。原厂资质齐全，支持批量定制法兰尺寸，奕帆半导体晶圆制造管道氙气检测仪厂家

产品型号：YF-8500-Xe
厂商性质：生产厂家
更新时间：2026-07-28
浏览次数：21

产品咨询联系我们

Product Category

常见气体系列

氙气氪气检测仪氖气检测仪双氧水甲基硅氧烷氟气碳氢化合物氧气检测仪臭氧检测仪氨气检测仪氢气检测仪氦气检测仪氯气检测仪氩气检测仪查看全部产品

深圳奕帆科技固定式法兰氙气检测仪，聚焦半导体芯片制造、晶圆蚀刻工艺管道氙气浓度实时监测，采用一体化法兰管道安装结构，法兰接触面配备耐腐氟橡胶密封垫片，耐受半导体车间特种工艺气体、轻微酸碱腐蚀，可长期安装在高纯氙气输送管道、蚀刻机供气支管，实现 24 小时不间断在线监测氙气纯度与微量泄漏。设备核心传感单元选用进口热导传感器，针对高纯氙气检测优化算法，低浓度渗漏与高纯度氙气均可精准区分，分辨率最高可达 0.01% VOL，满足半导体行业高精度工艺管控标准。

整机隔爆防爆结构设计，取得国家防爆合格证、CMC 计量器具生产许可，符合危化车间设备使用规范；防护等级 IP67，可适应半导体车间恒温高湿、洁净无尘工况，外壳采用轻量化铝合金材质，抗静电、抗电磁干扰，不受车间光刻机、等离子设备电磁信号影响，监测数值稳定无波动。设备供电支持 12-30V 宽压直流供电，适配工业 24V 常规供电系统，电路内置防反接、防雷、浪涌保护模块，杜绝电压波动损坏核心元器件，大幅降低设备故障率。

数据传输功能，同时搭载 4-20mA 标准工业模拟信号与 RS485 总线数字信号，可接入半导体工厂智能中控系统、上位机监测软件，实时上传氙气浓度、设备运行状态、报警记录；内置大容量数据存储模块，可自动存储 12 个月历史监测数据，支持 U 盘导出、电脑打印数据报表，满足环保、安全生产台账存档要求。设备配套一体式声光报警器，两级浓度报警自定义设置，低浓度预警、高浓度联锁停机双重防护；传感器采用插拔式模块化设计，后期校准、更换无需整台设备拆卸，运维便捷，大幅降低企业人工维护成本。奕帆半导体晶圆制造管道氙气检测仪厂家，可根据半导体管道管径定制 DN40/DN50/DN80 法兰规格，提供安装指导、现场校准服务，整机两年质保，是半导体高纯氙气管道在线监测优选设备。

奕帆半导体晶圆制造管道氙气检测仪厂家

上一篇：YF-8500-Xe奕帆稀有气体充装站固定式氙气检测仪厂家
下一篇：YF-8500-Xe奕帆化工园区高压工艺管道氙气检测仪厂家

奕帆半导体晶圆制造管道氙气检测仪厂家

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：