奕帆半导体晶圆制造管道氙气检测仪厂家

简要描述：奕帆法兰式固定式氙气在线检测仪，专为空分、半导体氙气管道监测打造，法兰一体式安装无需改造管路。选用长寿命热导传感模组，响应迅速、测量重复性强，可同时检测氙气微量泄漏与气体纯度。整机隔爆结构，防雷防静电，抵御工业电磁干扰；自带三级可调报警阈值，超标声光联动提醒。兼容有线、4G 无线远程传输，手机、中控平台实时查看数据。原厂资质齐全，支持批量定制法兰尺寸，奕帆半导体晶圆制造管道氙气检测仪厂家

产品型号：YF-8500-Xe
厂商性质：生产厂家
更新时间：2026-07-28
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深圳奕帆科技固定式法兰氙气检测仪，聚焦半导体芯片制造、晶圆蚀刻工艺管道氙气浓度实时监测，采用一体化法兰管道安装结构，法兰接触面配备耐腐氟橡胶密封垫片，耐受半导体车间特种工艺气体、轻微酸碱腐蚀，可长期安装在高纯氙气输送管道、蚀刻机供气支管，实现 24 小时不间断在线监测氙气纯度与微量泄漏。设备核心传感单元选用进口热导传感器，针对高纯氙气检测优化算法，低浓度渗漏与高纯度氙气均可精准区分，分辨率最高可达 0.01% VOL，满足半导体行业高精度工艺管控标准。

整机隔爆防爆结构设计，取得国家防爆合格证、CMC 计量器具生产许可，符合危化车间设备使用规范；防护等级 IP67，可适应半导体车间恒温高湿、洁净无尘工况，外壳采用轻量化铝合金材质，抗静电、抗电磁干扰，不受车间光刻机、等离子设备电磁信号影响，监测数值稳定无波动。设备供电支持 12-30V 宽压直流供电，适配工业 24V 常规供电系统，电路内置防反接、防雷、浪涌保护模块，杜绝电压波动损坏核心元器件，大幅降低设备故障率。

数据传输功能，同时搭载 4-20mA 标准工业模拟信号与 RS485 总线数字信号，可接入半导体工厂智能中控系统、上位机监测软件，实时上传氙气浓度、设备运行状态、报警记录；内置大容量数据存储模块，可自动存储 12 个月历史监测数据，支持 U 盘导出、电脑打印数据报表，满足环保、安全生产台账存档要求。设备配套一体式声光报警器，两级浓度报警自定义设置，低浓度预警、高浓度联锁停机双重防护；传感器采用插拔式模块化设计，后期校准、更换无需整台设备拆卸，运维便捷，大幅降低企业人工维护成本。奕帆半导体晶圆制造管道氙气检测仪厂家，可根据半导体管道管径定制 DN40/DN50/DN80 法兰规格，提供安装指导、现场校准服务，整机两年质保，是半导体高纯氙气管道在线监测优选设备。

奕帆半导体晶圆制造管道氙气检测仪厂家

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