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详细介绍
深圳奕帆科技自主研发生产红色固定式氙气在线检测仪，专为半导体芯片、晶圆制造、光刻工艺车间设计，整机采用醒目的工业红色防爆机身，区别于车间内其他气体监测设备，便于车间 EHS 安全管理人员快速识别氙气监测点位，保障光刻氙气光源、氙气工艺供气管道的泄漏监测，杜绝高浓度氙气挤占氧气导致操作人员窒息的安全隐患。设备核心搭载高精度专用氙气热导传感器，针对半导体车间高纯氙气工况优化信号处理算法，有效过滤车间洁净空气循环系统、蚀刻设备产生的微量其他气体干扰，检测量程可按需定制 0-5000ppm、0-100% VOL 多规格，分辨率 0.001% VOL，重复性≤2%，响应时间 T90≤10 秒，能够毫秒级捕捉管道微小氙气泄漏，数据实时反馈无延迟，匹配半导体车间高严苛安全管控标准。
整机外壳为加厚压铸铝合金红色防爆壳体，表面双层氟碳红色烤漆，长期在洁净车间恒温高湿环境下不掉漆、耐腐蚀，防护等级 IP67，防尘防水防洁净车间喷淋清洁，设备拥有完整 CNEX 防爆、CPA 计量、消防检测全套资质，可直接通过半导体工厂安监、环保合规验收，无需额外送检。机身集成一体式红色声光报警装置，屏幕同步红色文字闪烁提醒，双重预警机制保障车间人员第一时间察觉氙气浓度超标；内置三组无源继电器输出，可直接联动车间洁净区排风系统、氙气供气管道紧急切断阀，实现泄漏自动排风、断气，缩小安全风险范围。
数据传输兼容 4-20mA 模拟量与 RS485 Modbus 数字信号，可接入工厂中控 DCS 系统、奕帆免费工业云监测平台，管理人员通过电脑网页、手机 APP 随时随地查看洁净车间各点位实时氙气浓度、历史曲线、报警记录，设备本地自动存储长达 12 个月完整监测数据，支持 U 盘导出、打印归档，满足半导体行业 EHS 安全台账、环保核查资料要求。设备采用模块化可拆卸传感器结构，后期传感器寿命到期后，无需整机拆除、停机停产，单人简单操作即可完成传感器更换、现场校准，大幅减少半导体产线停机维护时长，降低工厂运维成本。供电适配工业通用 24V 直流宽压电源，适配车间标准化供电线路；默认扩散式采样，针对光刻设备密闭腔体、地下供气管道等密闭空间，可加装泵吸采样组件主动抽气检测，消除检测盲区。
奕帆半导体晶圆制造车间氙气检测仪厂家，红色固定式氙气检测仪支持量程、采样方式、通讯功能个性化定制，出厂前全部经过 72 小时高温、高湿老化校准测试，整机质保 365 天，免费提供设备标定、远程技术调试服务；半导体企业批量采购可享工厂直供优惠，免费提供现场安装布线指导、安监验收全套资质文件，一站式解决半导体车间氙气安全监测需求。
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