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详细介绍
深圳奕帆科技银色固定式氙气在线检测仪，适配半导体晶圆制造、芯片蚀刻、真空镀膜、电子特种气体输送管路监测场景，一体化银色压铸铝防爆外壳质感光洁，阳极氧化工艺隔绝腐蚀性工艺气体、洁净车间粉尘，IP65 防尘防水防护等级，洁净车间、负压工艺间均可稳定安装使用。
针对半导体车间多稀有气体共存工况，设备搭载定制化热导氙气传感模组，专属滤波算法屏蔽氩气、氦气、氪气、工艺有机废气干扰，氙气检测量程可按需定制 0-100ppm、0-100% VOL 多规格，低浓度微量泄漏、高浓度管路泄漏均可精准量化，测量重复性≤2%，长期连续运行数据漂移极小，保障半导体车间工艺气体安全管控。
设备整机结构精简，壁挂、立柱两种安装方式可选，配套防爆安装支架，车间吊顶、设备管路旁、气瓶柜内部均可灵活固定；插拔式独立传感器模块，半导体产线轮班运维人员可快速更换校准，无需停机拆解整套设备，有效缩短产线停工时长。机身高清 LCD 屏幕中文界面显示，实时刷新氙气浓度数值、设备故障代码、高低报警状态，绿色正常、黄色预警、红色超标三色指示灯区分工作状态，车间巡检人员远距离即可直观判断设备运行情况。
红外遥控免开盖操作，无尘洁净车间无需频繁拆卸设备外壳，远程一键完成校准、参数修改，避免拆卸带入粉尘污染车间环境。电气系统采用工业 DC24V 宽压供电，适配车间自动化配电系统；内置三路继电器联动输出，氙气泄漏超标后同步启动声光报警、自动切断氙气供气电磁阀、开启车间局部排风系统，及时消除泄漏安全隐患。
通讯接口集成 4-20mA 模拟量与 RS485 标准 Modbus 协议，可直接接入半导体工厂中控 DCS 系统、上位机监控软件，全厂各工艺点位氙气监测数据统一汇总、存储、曲线追溯，支持超标数据自动记录存档，满足半导体行业环保、安全生产台账审核要求。设备内置防静电、抗电磁干扰电路，隔绝车间大功率设备、射频仪器电磁干扰，数据无乱跳、无误报警；奕帆半导体电子车间专用氙气检测仪厂家支持功能定制，可加装无线 4G/LoRa 传输模块，实现远程云端监控、手机短信报警推送，免费提供技术指导、产线点位方案设计、终身技术咨询服务。
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