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详细介绍
深圳奕帆科技法兰固定式氪气检测仪，专为半导体芯片制造、晶圆蚀刻工艺管道研发，标准 DN80 法兰一体式安装设计，适配高纯氪气载气输送管道法兰点位实时泄漏监测，针对半导体洁净车间无尘、防爆、高精度监测需求打造，是微电子行业稀有气体安全监测专用仪表。
半导体制造环节氪气作为蚀刻、离子注入核心载气，管道法兰密封处极易发生微量泄漏，氪气属于惰性窒息性气体，密闭洁净车间泄漏会造成操作人员缺氧昏迷，同时高纯氪气单价高昂，微量泄漏将带来巨大生产成本损耗。奕帆法兰固定式氪气检测仪采用法兰直装式结构，直接固定在输送管道法兰端面，气室与管道内部连通，无气体采样延迟，实时捕捉管道内部氪气浓度变化，杜绝监测数据滞后问题。
核心传感单元选用军工级红外氪气传感器，针对半导体高纯低杂质工况优化算法，过滤氮气、氩气、氧气等背景气体干扰，测量精度≤±1.5% FS，检出限 0.01ppm，可精准识别 ppb 级微量氪气泄漏；设备内置高精度恒温气室，隔绝洁净车间温湿度波动对检测数值的干扰，长期连续运行零点漂移极小，无需频繁现场校准，适配半导体工厂全年无休生产模式。
机身采用 316L 不锈钢法兰 + 防爆铝合金主机分体结构，法兰接触面镜面抛光处理，搭配 PTFE 耐腐蚀密封垫，耐半导体工艺特种腐蚀气体、高纯介质腐蚀，承压最高 2.5MPa，适配高压氪气输送管道；整机防爆认证 Ex d IIC T6，满足半导体防爆洁净车间 1 区、2 区危险区域安装标准，IP67 全密封防护，阻挡无尘车间超细粉尘、清洗水汽侵入设备内部。
操作交互配备 4 寸高清工业液晶屏，全中文操作界面，实时显示氪气实时浓度、管道压力、设备运行温度、高低报警阈值；支持三级报警阈值自由设定（预警、低报、高报），一体化声光报警装置安装于设备侧面，不占用法兰安装空间，车间远距离清晰识别报警信号。通讯接口支持 RS485 无线远传、4-20mA 有线信号输出，可对接半导体工厂 MES 生产管理系统、环保废气在线监测平台，自动存储历史浓度数据，支持数据本地缓存、云端上传，便于企业环保台账留存、生产工艺数据分析。
维护设计人性化，配套红外遥控调试工具，现场免开盖完成零点校准、量程修正、报警参数修改；模块化传感器组件，单人快速拆卸更换，无需整台设备拆机，大幅降低停机维护时长，不影响半导体产线连续生产。奕帆半导体晶圆制造管道氪气检测仪厂家，支持法兰规格（DN50/DN80/DN100）、检测量程、通讯功能定制，提供完整出厂资质文件、上门技术培训、全年免费线上技术支持，是半导体晶圆厂氪气管道法兰泄漏监测优选设备。
奕帆半导体晶圆制造管道氪气检测仪厂家
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