




详细介绍














深圳奕帆科技洁净型手提氖气检测仪,专为半导体晶圆厂房、芯片封装车间、光电显示洁净厂房、稀有气体高纯供气管道监测场景研发,严格贴合 SEMI S2 洁净车间安全监测标准,是电子制造行业洁净区氖气微量泄漏检测专用便携设备。
针对洁净车间低粉尘、高洁净度环境特殊优化,整机进气系统采用 0.1μm 超高效 PTFE 无菌过滤模组,颗粒截留率 99.999%,检测过程不会产生粉尘、颗粒物二次污染洁净车间环境;机身 316L 不锈钢进气管路,内壁抛光处理,无吸附残留,避免高纯氖气采样时气体吸附造成检测数据偏差,可精准捕捉车间管道、阀门、气柜微量氖气泄漏,检出限可达 0.1ppm,有效预防高纯稀有气体泄漏造成车间氧含量失衡、设备工艺故障、人员缺氧风险。
核心传感模组选用进口定制氖气热导传感器,搭载自主研发温湿度智能补偿算法,洁净车间恒温恒湿工况下长期零漂稳定,连续 72 小时不间断监测数据波动不超过 ±0.5% FS,满足半导体工厂 24 小时不间断车间巡检、设备气密性检测需求;量程可灵活定制 0-1000ppm 微量检测量程,适配洁净车间微量泄漏排查,也可升级 0-100% VOL 高纯氖气浓度检测版本,兼顾管道高纯气体纯度检测、泄漏浓度双重监测需求。
便携结构适配洁净车间无尘穿戴作业,轻量化整机设计,整机重量仅 1.1kg,防滑一体式手提把手,穿戴无尘手套可轻松握持操作;整机外壳采用防静电阻燃材质,表面防静电涂层,避免洁净车间静电放电引发安全风险,防护等级 IP65,耐洁净车间专用清洗溶剂腐蚀,设备表面可使用无尘布配合车间清洗剂直接擦拭清洁,不损伤机身元器件。
防爆与安全性能达标洁净车间防爆规范,本安 ExiaⅡCT6 防爆认证,整机无电火花产生元器件,可直接用于高纯稀有气体供气站、车间高压气柜等高风险区域;四重智能报警系统适配无尘车间静音需求,支持单独关闭蜂鸣报警,保留屏幕弹窗、机身振动、远程 APP 短信三重报警,不干扰车间无尘生产工序,同时确保巡检人员及时察觉氖气泄漏隐患。
智能数据管理系统适配工厂洁净车间数字化台账管理,本机内置大容量存储芯片,可存储 10 万组带时间戳、温湿度、设备编号的完整检测数据,支持本地 USB 导出 Excel 格式检测报表,报表格式可定制企业专属模板,直接对接工厂 EHS 安全管理系统;内置 WiFi 无线物联网模块,检测数据实时上传奕帆工业云平台,厂区管理人员可远程查看各洁净车间实时氖气浓度、历史泄漏曲线、超标报警记录,实现全厂洁净区稀有气体安全数字化管控。
供电系统适配车间轮班不间断巡检,内置 4600mAh 大容量防爆锂电池,满电连续检测续航 72 小时,配备 Type-C 快充,2 小时充满,额外配备备用锂电池仓,轮班巡检可快速更换电池不间断作业;机身配备电量实时显示,低电量提前 30 分钟弹窗预警,避免巡检中途断电。
奕帆半导体洁净车间专用氖气检测仪厂家,洁净版氖气检测仪全套资质齐全,CCEP 环保认证、CPA 计量认证、防爆合格证、洁净车间适配检测报告;出厂附带整机校准证书、洁净适配检测报告,整机质保 1 年,传感器专属洁净款质保 8 个月,全国可上门提供洁净车间设备校准、技术培训、故障维修服务;支持批量定制专属量程、物联网对接协议、企业 LOGO 机身印刷,免费为环保在线采购客户提供全套产品技术参数、资质扫描件、现场应用案例资料,一站式解决半导体、光电行业洁净厂房氖气安全监测难题。
奕帆半导体洁净车间专用氖气检测仪厂家
产品咨询

微信公众号

移动端浏览