











深圳奕帆科技固定式红色款氖气检测仪,专为半导体晶圆洁净厂房稀有气体泄漏监测打造,整机采用醒目红色防爆壳体,车间复杂工况下辨识度拉满,是光刻车间氖气供气管道、钢瓶存放区安全监测设备。氖气属于惰性稀有气体,传统气体传感器难以精准捕捉微量泄漏,本设备搭载进口 VUV 真空紫外光电离专用氖气传感器,检出限低至 0.1ppm,SEMI S2 半导体行业稀有气体监测标准,全量程检测误差≤±1% FS,搭配自研温湿度自动补偿算法,洁净车间恒温恒湿环境下长期运行数据零漂移。
设备外壳为铸铝防爆材质,红色氟碳防腐涂层,IP66 防尘防水防护等级,防爆认证 ExdⅡCT6,可直接部署于防爆洁净区域,不会干扰车间无尘环境。机身搭载 2.5 英寸高清液晶显示屏,实时数字显示现场氖气浓度,支持 PPM、% VOL 多单位自由切换;机身侧边集成一体式红色声光报警灯,与红色机身融为一体,浓度超标瞬间发出 85dB 高分贝蜂鸣 + 高频红光爆闪,远距离即可察觉泄漏风险,双重预警杜绝安全事故。
安装方式支持壁挂式、管道法兰式两种,适配洁净车间吊顶管道、钢瓶柜体安装,模块化传感器热插拔设计,更换传感器无需整机断电停机,30 秒快速完成替换,不耽误半导体车间 24 小时连续生产作业。信号输出包含标准 4-20mA 三线制模拟信号 + RS485 Modbus 数字信号,可无缝对接车间 DCS 工控系统、PLC 控制柜,实现监测数据远程上传;额外搭载两路无源继电器开关量输出,超标时可自动联动车间排风机、气体切断阀,实现泄漏自动处置。
整机适配 - 20℃~60℃宽温工作环境,0-95% RH 无凝露湿度工况,内置故障自检程序,传感器失效、线路断路、供电异常均会主动故障报警,同时记录设备运行日志、超标报警记录,存储上万条历史数据,支持本地查询与云端导出。奕帆半导体洁净车间氖气探测器厂家,整机提供 3 年整机质保,传感器 1 年免费换新,可根据半导体车间需求定制专属量程、物联网无线传输模块,全国上门安装调试指导,适配各大晶圆厂、芯片封装厂、光刻车间常态化氖气安全监测需求。
奕帆半导体洁净车间氖气探测器厂家