










深圳奕帆科技固定式无线氦气检测仪,专为半导体晶圆制造车间氦气泄漏、氦气纯度在线监测打造,是新一代免布线工业级气体监测设备,解决传统有线检测仪布线繁琐、改造车间施工成本高、监测点位无法灵活调整等行业痛点。设备搭载进口高精度热导式氦气专用传感器,搭配 32 位高速微处理芯片,内置全量程温湿度自动补偿算法,检测精度≤±3% FS,分辨率可达 0.01% VOL,可精准捕捉晶圆焊接、真空腔体、氦气输送管道微小氦气泄漏,避免氦气损耗与车间缺氧安全隐患。
整机采用一体化隔爆铝合金外壳,防爆等级 Ex d ⅡC T6,防护等级 IP67,防尘防水抗腐蚀,可长期稳定运行于半导体洁净车间、真空设备周边等复杂工况。核心无线传输模块支持 LoRa 远距离无线传输、4G 全网通、WiFi 三种模式,无需铺设信号线,单台设备可独立上传监测数据至奕帆物联网云平台,传输距离最远可达 5km;云端可实时查看氦气实时浓度、历史曲线、超标报警记录,支持电脑 PC 端、手机小程序远程查看,无需人员现场值守。
设备正面配备 2.5 英寸高清液晶彩屏,实时显示氦气浓度、设备运行温度、无线信号强度、高低报警阈值,支持中英文双语切换,操作直观简单。自带声光一体式报警灯,报警音量≥90 分贝,支持高低两级报警值自由设定,氦气浓度超标时屏幕数值闪烁、高分贝蜂鸣、红色爆闪灯三重预警;同时内置无源继电器信号输出,可联动车间排风扇、真空机组、氦气输送阀门,自动启动应急处置设备,从源头规避安全事故。
采用模块化传感器设计,传感器支持快速插拔更换,无需整机返厂校准,搭配红外无线遥控器,无需开盖即可远程完成零点校准、报警值修改、设备地址修改,大幅降低后期运维人工与时间成本。设备适配 DC24V 工业标准供电,支持壁挂式、管道抱箍式两种安装方式,安装简单快速,单人即可完成部署。广泛应用于半导体晶圆封装、真空镀膜、芯片焊接、特种气体管道、洁净实验室等场景,奕帆半导体晶圆车间无线式氦气检测仪厂家设备出厂附带防爆合格证、计量检测报告,符合环保在线工业监测设备合规上架标准,支持按需定制检测量程、无线传输方案,提供 3 年整机质保、免费技术远程指导服务。
奕帆半导体晶圆车间无线式氦气检测仪厂家