












深圳奕帆科技自研银色固定式氟气检测仪,专为半导体晶圆刻蚀、清洗工艺场景打造,整机采用一体化银色加厚防爆铝合金机身,表面钝化防腐处理,抵御氟气强腐蚀性介质长期侵蚀,是半导体工厂氟气管路、工艺机台、气瓶存放区 24 小时不间断在线监测核心设备。氟气属于剧毒强腐蚀高危气体,微量泄漏即可造成人员灼伤、设备腐蚀、生产线停机,本款仪器依据防爆国标研发,取得 CPA 计量认证、ExdIICT6 隔爆防爆资质,防护等级 IP66,可稳定运行在湿度 10%-95% RH 无凝露、-20℃~+50℃宽温车间环境,适配半导体洁净车间、危化工艺间防爆安装要求。
仪器搭载进口专用电化学氟气传感器,量程标准 0-10ppm,分辨率 0.01ppm,检测精度≤±3% FS,T90 响应时间<20 秒,泄漏瞬间捕捉浓度变化,杜绝微量泄漏漏报、迟报问题。机身搭载 2.4 英寸高清彩色液晶显示屏,银色机身搭配高清背光屏,现场直观展示实时氟气浓度、高低报警阈值、设备运行状态、温湿度数据,支持中英文操作界面,红外遥控器免开盖标定、参数设置,无需专业拆机,车间运维人员可快速完成校准操作。信号传输兼容 4-20mA 三线制模拟信号、RS485-Modbus RTU 数字总线,双信号同步输出,最远 2000 米稳定传输,可直接对接厂区 DCS 中控系统、环保在线监测平台、本地声光报警主机,内置 3 组无源继电器,超标自动联动排风风机、工艺设备停机、喷淋中和装置,构建全流程安全联锁防护体系。
模块化热插拔传感器设计为本款银色机型核心优势,传感器独立模块,无需整机返厂,现场 5 分钟即可完成更换、标定,大幅降低半导体工厂停机维护成本。整机内置多级防雷、防反接电路,浪涌、错接电源不会损坏设备,零点年漂移≤±1% FS,全年运行数值稳定,无需频繁校准。机身银色喷砂工艺耐磨抗刮,长期在洁净车间、酸碱挥发环境不易氧化褪色,壁挂、管道支架两种安装方式,配套标准防爆接线盒、固定支架,安装布线简单。
广泛适配半导体芯片制造、光伏电池刻蚀、特种电子元器件生产车间,支持企业环保备案、安全生产标准化验收,奕帆半导体刻蚀车间固定式氟气检测仪厂家,提供上门安装调试、年度校准、终身技术支持服务,可按需定制 0-5ppm、0-50ppm 特殊量程,选配 NB-IoT 无线数据上传模块,实现远程手机、电脑实时查看厂区氟气监测数据。整机长周期稳定运行,降低车间安全事故风险,满足应急管理、环保监管双重监测需求。
奕帆半导体刻蚀车间固定式氟气检测仪厂家