奕帆固定式半导体晶圆车间氢气检测仪厂家

深圳奕帆科技法兰固定式氢气检测仪半导体，针对半导体制造 CVD 薄膜沉积腔体、载氢输送管道、真空腔体连接法兰微量氢气泄漏监测开发，适配半导体洁净车间 Class 5 无尘环境，兼顾高纯载氢纯度检测与微量泄漏预警双重需求，定制洁净级一体化法兰安装底座，可直接固定腔体法兰密封面，精准捕捉真空腔体法兰微量氢气渗漏，避免氢气积聚引发腔体爆炸、晶圆工艺报废，设备防爆、洁净双认证齐全，符合半导体工厂无尘车间安全管控与环保监测标准。

整机法兰底座采用镜面抛光 316L 不锈钢材质，内壁喷涂 PTFE 洁净防腐涂层，无粉尘脱落、无杂质析出，不会污染半导体洁净车间生产环境，耐硅烷、氨气等工艺腐蚀性气体，适配 CVD 工艺高温真空法兰工况。核心搭载高选择性氢气专用传感器，针对半导体车间硅烷、磷化氢、氮气、氩气做交叉干扰过滤算法，仅响应氢气气体，杜绝其他工艺气体造成误报警；两种量程可选：0-1000ppm 微量泄漏监测、0-100% VOL 高纯载氢纯度检测，T90 响应速度≤15 秒，腔体法兰极微量渗漏快速捕捉，提前预警规避工艺事故。

整机壳体采用轻量化防爆铝合金，表面无尘哑光处理，IP65 防尘防水防护，车间洁净加湿、恒温恒湿环境稳定运行，工作温度 0~60℃，适配半导体车间恒温工况；内部电路做防静电处理，避免静电击穿晶圆、损坏精密腔体设备，本安防爆电路设计，车间全程不间断生产无需断电监测。机身小型高清单色液晶显示屏，低光无反光，适配无尘车间柔和照明环境，实时显示氢气浓度、腔体监测点位编号、高低报警阈值，红外遥控免开盖调试，无尘车间开盖会破坏洁净度，地面远程即可完成校准、参数修改，不干扰车间无尘等级。

通讯输出支持 RS485 数字信号、4-20mA 模拟量，可接入半导体车间洁净区 DCS 控制系统、腔体设备联动模块，内置双路继电器，氢气浓度超标自动联动腔体真空阀切断氢气载气、启动氮气吹扫腔体，同步触发车间分区声光报警器，实现监测 - 预警 - 自动处置闭环管控。设备低功耗运行，不产生多余热量影响车间恒温环境，自带本地数据存储，自动留存两年监测数据、报警记录，支持对接工厂 MES 生产管理系统、环保废气监管平台，留存氢气安全监测台账，满足半导体企业环保、安监审核。

奕帆固定式半导体晶圆车间氢气检测仪厂家可根据半导体腔体法兰规格定制 DN25/DN40 小型洁净法兰、加长真空探杆法兰，整机模块化设计，传感器独立拆装，更换耗材无需拆卸腔体法兰，不中断晶圆生产线。设备出厂经过无尘洁净测试、真空氢气泄漏模拟测试、长期稳定性老化测试，整机质保 24 个月，配套半导体无尘车间专属上门校准服务，国内多家晶圆、芯片制造企业长期批量采购，是半导体 CVD 腔体法兰氢气安全监测专用设备。

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