奕帆固定式半导体晶圆制造氢气检测仪厂家

深圳奕帆科技一体式银色固定式氢气检测仪，专为半导体、光伏晶圆制造行业打造，芯片生产 CVD 沉积炉、扩散炉、氢气载气管道、高纯气柜均会使用大量氢气作为还原保护气体，管道焊缝、阀门、接头微量泄漏存在车间爆炸、产品报废双重风险，本款银色防爆监测设备可全天候精准监测高纯氢气泄漏，机身银色哑光金属外壳适配洁净车间无尘装修，无掉屑、无锈蚀污染晶圆生产环境，通过洁净车间设备防尘防腐标准。

仪器搭载高精度进口氢气专用传感元件，抗氮气、氩气、硅烷等工艺气体交叉干扰，半导体车间混合工艺气体环境下无误报；分微量 0-1000ppm 低量程、0-100% LEL 可燃量程两种规格，晶圆车间微量高纯氢气泄漏选用 ppm 量程，储罐、管道大泄漏监测选用 LEL 量程，分辨率最高 0.1ppm，可捕捉毫升级微小泄漏，提前预警避免氢气渗入洁净室污染晶圆。整机电路采用无磁屏蔽设计，不会干扰半导体车间精密电子设备、检测仪器正常工作，洁净车间严苛电磁环境稳定运行。

机身全密封银色防爆结构，无外露缝隙积尘，日常无尘布擦拭即可完成清洁，满足半导体洁净车间运维标准；IP66 防尘防水，抵御车间清洗喷淋水汽、工艺微量腐蚀雾气，-20℃~50℃恒温区间适配洁净车间常年控温工况。正面液晶屏幕支持中英文双语切换，外资半导体工厂、国产晶圆厂区均可适配；红外遥控器远程调试，洁净车间无需频繁拆卸仪器破坏无尘环境，降低车间洁净度维护成本。

通讯接口支持 RS485 有线远传，可对接半导体工厂 MES 生产系统、环保在线废气监测平台，氢气泄漏数据实时上传管控后台，超标自动联锁氢气供气管道切断阀、洁净室排风系统，同步推送报警记录至中控值班室，第一时间处置泄漏隐患；模块化传感器设计，更换耗材无需整机拆卸，洁净车间停机维护时长大幅缩短。适配光伏电池片烧结车间、半导体芯片制造厂房、高纯氢气供气站、电子实验室。

奕帆固定式半导体晶圆制造氢气检测仪厂家可根据洁净车间无尘等级定制无油污、无碎屑专用机型，提供整套车间多点氢气监测布局方案，原厂两年质保，定期上门标定校准服务。

奕帆固定式半导体晶圆制造氢气检测仪厂家